SMIC向け中国フォトレジストメーカーが中古のASM製L露光装置を韓国から購入

SCCCは、「高度な半導体製造用のハイエンドフォトレジスト材料の開発を加速するプロジェクトの一環として、韓国から中古リソグラフィシステム関連キーワードはありません